4月16日,三星宣布完成5nm FinFET工艺开发,台积电则推出了6nm(N6)工艺,都将利用EUV光刻,在2020年开始投产。
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考虑到市场和内部情况,三星将分阶段披露其投资计划。其中,首先宣布的是将于明年在京畿道华城校区完成的极紫外线(EUV)投资计划。 EUV是下一代半导体工艺技术,每台EUV设备价格超过2000亿韩元(1.7521亿美元)。全线运营需要超过30万亿韩元(262.8亿美元)。
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